Проявитель MF-26A представляет собой водный раствор тетраметиламмоний гидроксида в воде светло-желтого цвета. Нормальность проявителя - 0,26N.
Проявитель MF-26A разработан для использования с фоторезистами серии Microposit S1800. Этот проявитель может использоваться для проявления фоторезистов серий Megaposit SPR3000, SPR220, SPR955CM, а также для проявления фоторезистов для коротковолнового УФ - света UV60, UV210, UV2000.
Суммарное содержание микропримесей металлов не превышает 10-7%
Данный проявитель целесообразно использовать в литографических процессах, при которых потенциально возможна диффузия металлических примесей в подложку, например в процессах с последующим плазмохимическим травлением подложки.
В проявителе MF-26A отсутствуют поверхностно активные вещества.
Проявитель следует хранить в прохладном помещении, в плотно закрытой исходной полимерной таре.
Срок гарантийного хранения составляет один год. Срок годности проявителя в плотно закрытой полимерной таре достигает до 5 лет. При этом через 5 лет активность проявителя падает примерно на 3-5%.
- Комментарии