Фоторезистивные шаблонные заготовки (ФШЗ)
Предназначены для использования в производстве промежуточных, эталонных и рабочих шаблонов, а также для изготовления голограмм
Материал подложки
- Кальций-натриевое стекло
- Кварц
Типоразмеры, мм
- 102х102
- 127х127
- 153х153
Типы маскирущего покрытия
- Хром- Окись железа
Типы резистивного покрытия
- Позитивный фоторезист
- Позитивный электронный резист
Область применения фотошаблонов на основе кварца и стекла:
Фотошаблонные заготовки предназначены для изготовления фотошаблонов, применяемых в технологии производства интегральных схем и других изделий микроэлектроники.
- Микросхемы интегральные (микропроцессоры и микроконтроллеры);
- Микросхемы интегральные для бытовой техники;
- Микросхемы интегральные для промышленной электроники;
- Микросхемы интегральные для телевизионных приемников;
- Микросхемы интегральные для систем связи;
- Микросхемы интегральные запоминающих устройств;
- Микросхемы интегральные стандартной логики.
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
|
Параметры |
||
| Материал подложки | Щелочное стекло | Кварц |
| Размеры, мм |
102 х 102 127 х 127 153 х 153 |
|
| Толщина, мм |
2,2 ÷ 2,6 3,0 ÷ 0,5 3,0 ÷ 0,5 |
2,2 ÷ 2,4 2,95 ÷ 3,15 6,25 ÷ 6,45 |
| Отклонение от плоскостности, мкм | 2, 5, 10 | |
| ТКЛР, град-1 | 80 • 10-7 | 7,5 • 10-7 |
| Маскирующий слой | хром, окись хрома | |
| Оптическая плотность, отн.ед., λ - 450 нм | 3,2 ± 0,2 | |
|
Коэффициент отражения, % λ - 436 нм |
> 40 25 ÷ 40 10 ÷ 25 |
|
| Толщина маскирующего слоя, Å |
хром 500 ÷ 700 хром, окись хрома 1000 ÷1200 |
|
| Проколы в маскирующем слое, см | 0,1; 0,05; 0,02 | 0,05; 0,02 |
| * Тип резиста |
Фоторезист (S - 1815 и др.) Электронорезист (ЭРП - 40 и др.) |
|
| * Толщина пленки резиста, мкм | 0,3 ÷ 1,0 | |
Примечание:
* Тип резиста и толщина пленки резиста могут изменяться по согласованию с заказчиком.
Основные параметры ФШЗ соответствуют международному стандарту SEMI.
КВАРЦЕВЫЕ И СТЕКЛЯННЫЕ ПЛАСТИНЫ РАЗЛИЧНОГО НАЗНАЧЕНИЯ
|
Параметры |
|
| Тип стекла | Кварц, К - 8, К - 105 и др. |
| Размеры, мм |
Квадратные до 150 Х 150 Круглые Ø до 230 |
| Толщина, мм |
0,8 ÷ 8,0 3,0 ÷ 0,5 |
| Клин, мкм на 100 мм | 5; 10; 20 |
| Плоскостность, мкм/см | 0,2; 0,5; 1,0 |
