Проявитель безметальный для позитивных фоторезистов П-236А-МФ
Параметры проявителя П-236А-МФ. Поставляется по протоколу испытаний. Импортный аналог MF-26A (Dow)
No |
Характеристики П-236А-МФ |
Норма |
1 |
Внешний вид |
Прозрачная, бесцветная жидкость |
2 |
Концентрация раствора, моль/литр |
0,259 |
3 |
Уровень фильтрации, мкм |
0,2 |
4 |
Суммарное содержание примесей металлов, ppm |
Менее 1 |
Проявитель П-236А-МФ изготовлен на основе тетраметил аммоний гидроксида (TMAH). В состав проявителя П-236А-МФ введено поверхностно – активное вещество для улучшения смачивания пленки фоторезиста проявителем. Используется проявитель П-236А-МФ для проявления как отечественных, так и импортных позитивных фоторезистов с низким содержанием примесей металлов. Применение проявителя П-236А-МФ критически важно при использовании плазмохимических процессов при травлении подложки.
- Комментарии